Departamento de Electrónica y Tecnología de los Computadores
Universidad de Granada
Microfabricación
Procedimientos de Diseño y Fabricación de MEMs- Surfaces Interfaces and their applications I
- Surfaces Interfaces and their applications II
- Wire Bonders
- Chip Carriers
Targets Sputtering
Bibliografía
Software de Diseño de máscaras y MEMS:
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Pressure-vacuum scale, measuring instruments and pressures in the environment
Medidores de vacio para diferentes rangos
Tipos de bombas para diferentes niveles de vacío.
Tecnología de Vacío - Fundamentals of Vacuum Technology (200 pag.)